专利摘要显示,本实用新型涉及一种加热喷淋头,包括盖板和喷淋板,其中,所述盖板上设置有加热元件,所述盖板盖设在所述喷淋板上,所述盖板与所述喷淋板之间形成喷淋腔;所述喷淋板远离所述盖板的表面为内凹面,所述内凹面使得所述喷淋板的板厚从中心向边缘逐渐增加,所述内凹面上开设有若干喷淋孔,所述喷淋孔贯穿所述喷淋板并连通所述喷淋腔。喷淋板的喷淋表面为内凹面,使得喷淋板的板厚从中心向边缘逐渐增加形成一个弧形腔体。介质从喷淋板上喷出后首先在弧形腔体内均匀热量,使得喷淋在晶圆上的介质的热量更加均匀,进而保证薄膜沉积的质量。
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