X荧光光谱仪可分为三类，一类是偏振式能量色散X荧光光谱仪ED(P)-XRF、波长色散型(WD-XRF)X射线荧光光谱仪与能量色散型(ED-XRF)X射线荧光光谱仪三种，他们无论是在原理上还是在仪器结构或者是功能上都有所不同。下面我们就三类仪器的区别作简单对比。
1、原理区别
X-射线荧光光谱法，是用X-射线管发出的初级线束辐照样品，激发各化学元素发出二次谱线(X-荧光)。波长色散型荧光光谱仪(WD-XRF)是用X射线直接照射样品发射X荧光，分光晶体将荧光光束色散后，测定各种元素的特征X-射线波长和强度，从而测定各种元素的含量;而普通能量色散型荧光光谱仪(ED-XRF)是通过滤光片得到背景相对较低的X射线，照射样品发射X荧光，X荧光借助高分辨率敏感半导体检测器与多道分析器将未色散的X-射线按光子能量进行色散，根据各元素特征能量的强度高低来测定各元素的量;而偏振式能量色散X荧光光谱仪ED(P)-XRF是采用偏振次级靶，得到单色的X射线照射样品，再X荧光借助高分辨率敏感半导体检测器与多道分析器将未色散的X-射线按光子能量进行色散，根据各元素特征能量的强度高低来测定各元素的量，这就大大提高了仪器的信噪比，提高了能谱仪分析轻元素的能力。
2、结构和功能方面的区别
波长色散型荧光光谱仪(WD-XRF)，一般由光源(X-射线管)、样品室、分光晶体和检测系统等组成。为了准确测量衍射光束与入射光束的夹角，分光晶体是安装在一个精密的测角仪上，还需要一庞大而精密并复杂的机械运动装置。由于晶体的衍射，造成强度的损失，需要作为光源的X射线管的功率要大，一般为2～3千瓦。但X射线管的效率极低，只有1%的电功率转化为X射线辐射功率，大部分电能均转化为热能产生高温，所以X射线管需要专门的冷却装置(水冷或油冷)，这就使得仪器结构比较复杂，硬件成本高，因此波谱仪的价格比能谱仪要高的多。
偏振式能量色散X荧光光谱仪ED(P)-XRF，不采用滤光片，而采用偏振次级靶，其它与普通能量色散X荧光光谱仪(ED-XRF)相似，结构也比较简单，价位也远低于波长色散型荧光光谱仪(WD-XRF)，但在轻元素的检出限方面接近波长色散型荧光光谱仪(WD-XRF)。
三、WD-XRF与ED-XRF的简明比较
3.价格方面的对比
波长色散价格X荧光谱仪又分为单道和多道两种，单道X荧光一般在120-150万元，而多道X荧光一般在180-250万元。
能量色散X荧光光谱仪一般分滤光片选择激发性和次级靶选择激发型，滤光片型仪器受滤光片位置和种类的限制，应用范围有很大的局限性，况且这类仪器一般采用Si-pin探测器分辨率也不够高，不适合复杂基体样品的分析;次级靶选择激发型仪器，由于一个次级靶可以有效元素周期表中元素范围很宽，且这类仪器一般SDD探测器，具有比较高的分辨率，适合于复杂样品的分析，拥有这样仪器的厂家只有德国斯派克和荷兰的帕纳克(原来的飞利浦)，但帕纳克仪器加110KV的的高压，注重超重元素的分析，而轻元素(原子序数比较小的元素)的分析不是他们的强项；斯派克的仪器加50KV的高压，关键是采用了HOPQ(高温热解石墨)靶，大大提高了轻元素的信噪比，可以有效的分析轻元素，效果接近波长色散X荧光。