1、洁净室运作介绍洁净室运作介绍无尘室运作介绍报告大纲1.洁净室定义与历史演练2.洁净室的标准规范与分类3.洁净室系统设计模式4.洁净室构装设备与材料5.洁净室的测试与验收6.洁净室的运转管理无尘室运作介绍CLEANROOM定义洁净室洁净室洁净室洁净室也称也称也称也称洁净室、洁净室、洁净室、洁净室、CLEANROOMCLEANROOM，定义为：定义为：定义为：定义为：Definedby209E:AroominwhichtheconcentrationDefinedby209E:Aroominwhichtheconcentrationofairb
2、orneparticlesiscontrolledspecifiedlimitsofairborneparticlesiscontrolledspecifiedlimits。定义：将空气中微粒子，温度，湿度，室压，气流，风速，振定义：将空气中微粒子，温度，湿度，室压，气流，风速，振定义：将空气中微粒子，温度，湿度，室压，气流，风速，振定义：将空气中微粒子，温度，湿度，室压，气流，风速，振动，噪音，照明，及微生物等控制在一定值内的空间称之。动，噪音，照明，及微生物等控制在一定值内的空间称之。动，噪音，照明，及微生物等控制在一定值内的空间称之。动，噪音，照明，及微生物等控制在
3、一定值内的空间称之。按照控制对象区分：按照控制对象区分：按照控制对象区分：按照控制对象区分：1.1.以浮游以浮游以浮游以浮游微粒子微粒子微粒子微粒子为对象的工业洁净室（为对象的工业洁净室（为对象的工业洁净室（为对象的工业洁净室（IndustrialCleanIndustrialCleanRoomRoom）2.2.以浮游以浮游以浮游以浮游微生物微生物微生物微生物为对象的生化洁净室（为对象的生化洁净室（为对象的生化洁净室（为对象的生化洁净室（BiologicalCleanRoomBiologicalCleanRoom）无尘室运作介绍洁净室历史演进1958美国发展太空科技开始
6、因此更换保养不方便；2.设备费用高；3.作业空间不宜扩充。1.收到生产机台尺寸、形状限制；2.人、物动线计划受到限制；3.不宜做大规模的修改。C/R各方式之比较无尘室运作介绍C/R系统基本要求控制微粒子数量至一定标准防止外界微尘粒子进入室内产生的微尘粒子与有害气体迅速的排出室外维持室内温度、湿度和压力防止静电的干扰系统稳定与节约能源考量无尘室运作介绍C/R洁净设施中央空调系统（AIRCORTROLSYSTEM）FFU（FANFILTERUNIT）FMU（FANMODULEUNIT）空气浴尘机（AIRSHOWER、PASSPAX）洗手烘干机（HANDWASHERDR
7、YERMACHINE）缓冲区（BUFFERROOM）黏着脚垫（STICKYMAT）高效滤网（HighEfficientyParticulateAir）泄压阀（Pressuredamper）真空吸尘器（VACUUMCLEANER）无尘衣服（DUSTFREEGARMENTS）等等无尘室运作介绍休息休息一下一下！无尘室运作介绍C/R检证验收项目HEPA泄漏测试风速风量测试正压测试洁净度测定温湿度测定照度测试绝缘测试其他测试无尘室运作介绍C/R检证条件CLEANROOM的验收条件：A条件条件（as-built）竣工时的洁净室仅其附属设备处于运转状态。B条件条件（as-rest）非作业时的洁净室生产机台以定位安装，开机运作中，但无作业人员的状态C条件条件（operational）作业时的洁净室所有的附属设备运行，生产机台开机运作，作业人员在场的生产状态条件C/R设备生产设备生产人员AYNNBYYNCYYY无尘室运作介绍洁净室的运转管理清净度管理温湿度管理室压控制管理气流速度管理人员教育管理无尘衣着管理节约能源管理无尘室运作介绍自然界之尘埃浓度无尘室运作介绍