【校友建功立业风采】张卫：深耕芯片领域细培创新人才
张卫，1984—1988年、1988—1991年、1991—1995年在西安交通大学电气工程系电气绝缘技术专业学习，分别获学士、硕士、博士学位。现为复旦大学微电子学院院长，教授、博士生导师。主要从事集成电路工艺、半导体器件和半导体材料的研究。自1997年以来承担国家自然科学基金、国家重大专项、上海市重大重点项目等20多项，在集成电路先导工艺技术、半导体器件和半导体材料等方面开展了系统研究，并取得很多创新性成果。自1992年以来在Science，NatureNanotechnology,NatureMaterials,AppliedPhysicsLetters，IEEEElectronDeviceLetters，IEEETran.onElectronDevices等国际学术期刊和会议上发表论文300多篇，申请专利180多项。
5月1日早上7点，不少人还在睡梦中享受五一国际劳动节的小短假，复旦大学微电子学院院长张卫教授就已走进办公室，开始为学生修改论文。知悉自己获得全国五一劳动奖章时，张卫放下手中的论文简单庆祝了一下。他说：“荣誉只代表过去，我得继续努力工作，每天都有很多事情要做。”
疫情期又值毕业季，张卫格外忙碌。他每天从住所到办公室两点一线，除教学和科研外，还要审阅、修改学生论文，担起疫情防控的责任。用张卫的话说，他就是“一个平凡的人”，但这平淡平凡的背后，是沉甸甸的责任和担当。
搭建第一套原子层沉积实验平台
时光回到20多年前。1995年6月，张卫博士毕业后到复旦大学做博士后，合作导师是电子工程系教授王季陶。在这期间，他瞄准本领域的国际学术前沿，开展了铜互连技术和低介电常数互连介质等研究，并取得了很好的学术成绩。博士后出站后，张卫留校工作，继续专注于集成电路领域的创新研究。
之后，张卫在德国做了一年半的“洪堡学者”，2002年5月他回到复旦大学。在学校和学院领导的支持下，他在国内率先开展了原子层沉积(ALD)高k栅介质的研究。
2003年，他搭建了国内第一台原子层沉积实验设备，随后他组织举办了第一届中国原子层沉积技术学术会议，邀请了国内外ALD领域专家参会，迅速扩大了复旦大学在集成电路前沿领域的国际影响力。
“做科研就是要锲而不舍”
2004年，微电子学院青年教师孙清清还是一名大四学生，当时他在张卫课题组做毕业设计。每次跟来自美国的工程师一起安装设备时，他发现张卫总在旁边。
“几天接触下来，我感觉张老师是一个非常严谨的人，能从他身上学到东西。”本科毕业后，孙清清跟着张卫攻读研究生。如今，孙清清也已成长为一名学科带头人。“有时候，在大家觉得‘没必要’或‘不可能’的时候，他就不放弃，死磕，最后成功推进了。”孙清清说。集成电路领域的研究需要产学研深度合作。据孙清清回忆，张卫经常带着他们跟企业去谈，有时候每周都要飞过去。“是张老师的坚持打动了对方，最终合作得以成功。”孙清清说，“如果中间不坚持，事情肯定就‘泡汤’了。”
微电子学院2019级博士生徐航说：“老师对科研的态度非常认真严谨。有问题找他时，讨论中，他连一些小细节都不放过。他还会就你提出来的问题发散到面上，让你看到一些之前没考虑的问题，帮你理清科研思路。”
凭着这份韧劲，张卫几十年如一日，在科研路上孜孜不倦。近年来，他牵头承担了8项国家和上海市重大、重点科研项目，在《科学》《自然》《自然-材料》《电子器件快报》等学术期刊及会议上发表论文300多篇，申请发明专利180多项。
做有价值的人生导师
“作为一名老师，首要任务是教书育人，为行业培养高质量的人才。”张卫说。除了潜心科研，张卫坚守在教学一线。他给本科生讲授《半导体材料》课程。一位复旦大学微电子专业20年前毕业的学生，现在已是企业高管，依然对张老师激情讲授的《半导体材料》课程印象深刻。
在张卫看来，“大学教育对一个学生未来职业规划和选择非常重要。作为老师，我想不仅是做科研，更是作为人生导师。不仅传授知识，更要活用我过去几十年的人生阅历，引导他们成长”。
多年来，他培养了一大批集成电路领域的优秀人才，其中5人获得国家高层次人才等称号，40多人担任我国集成电路头部企业高管和核心技术人员，成长为我国集成电路领域的领军人物。
这两年，张卫还为高中生先修课堂上课，讲授“改变世界的芯片技术”。他说，芯片是现代工业的粮食，是我们国家高科技强国建设的重要一环，希望通过先修课堂，让中学生对研究有了解，激发他们对科研世界的思考。
主动对接国家重大战略需求
谈到未来微电子学院的发展，张卫说，学院将面向学科前沿和国家重大战略的需求，在平台建设、科研创新和人才培养等方面积极进取，特别是要探索集成电路人才培养的新模式，解决产业核心技术问题，培养产业急需的创新型领军人才，走出一条新路径。
张卫说，集成电路是信息产业的基础。复旦大学集成电路学科成为教育部公布的新一轮“双一流”学科建设名单中全国高校唯一入选的“集成电路科学与工程”学科。复旦大学微电子学院已是国家示范性微电子学院的典型代表，将努力建设成为集成电路基础源头创新、前瞻性技术攻关和高层次人才培养的国际一流微电子学院，为建设特色鲜明、引领创新、享誉世界学术殿堂的“第一个复旦”作贡献。
离开科研、教学，张卫的生活很简单，平常他最喜欢的活动就是跟家人一起打乒乓球或羽毛球。长期以来，他保持良好作息习惯，每天晚上11点之前睡觉，早上6点钟起床，以充沛的精力投入到新的一天。
张卫寄语青年人：“你们处在一个伟大的时代，要树立远大目标，将个人规划和国家需求紧密结合，努力成为担当民族复兴大任的时代新人。”