集成光电子芯片根据生产工艺和材料,主要分为氮化硅,硅基和铟磷基集成光电芯片。其中硅基光电芯片生产平台可与CMOS生产平台兼容,但无法将有源器件单片集成到芯片中;氮化硅光电芯片具有较低损耗,但也无法单片集成有源器件,且成本较高;而铟磷集成光电芯片使用直接带隙材料,可单片集成有源无源器件,具有较快电光调制效应。
什么是InP铟磷集成光电子芯片?将有源(例如激光器,光放大器,相位调制器,光探测器等)与无源元件(例如波导,AWG,MMI,MZI等)通过半导体工艺集成到微小芯片中,该技术是目前唯一可真正单片集成激光器的技术。
InP铟磷集成光电子芯片中可包括哪些基本元件?例如波导(waveguide),耦合器(coupler),滤波器(filter),激光器(laser),相位调制器(phasemodulator),多模干涉器(MMI),开关(switch),光探测器(photodiode),光放大器(opticalamplifier),反射器(reflector),阵列波导光栅(arrayedwaveguidegrating),光栅(Grating),法布里珀罗激光器(Fabry-Perotlaser)等。
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