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协办单位：苏州工业园区培训管理中心、中国半导体行业协会MEMS分会、华强电子网
支持单位：华强智造、新微创源孵化器
一、课程简介
作为前两期《MEMS高级培训课程》的传承版，麦姆斯咨询设计了《MEMS行业工程师进阶培训课程》。该课程根据MEMS/NEMS产业发展历程及产业现状，融合当下典型MEMS传感器（加速度计、陀螺仪、MEMS麦克风、压力传感器、气体传感器、红外传感器）的核心技术环节，包括设计、制造、封测和应用知识；同时，为了理论结合实践，特意安排半天的实地学习课程，将带领学员们到MEMS制造产线、MEMS封测产线进行参观和体验，希望给大家带来耳目一新的培训体验。
二、培训对象
2018年9月28日~9月30日共计3天。
授课结束后，为学员颁发麦姆斯咨询的结业证书。
四、培训地点
苏州工业园区纳米城（具体地址以培训前一周的开课邮件通知为准）
五、课程内容
课程一：从MEMS发展到NEMS的启示
讲师：中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员王跃林
授课内容：
MEMS是如何发展起来的？MEMS发展历程经历了哪些阶段？我们可以从中吸取到什么经验？未来我们该如何发展MEMS产业？追根溯源，启迪思想。
本课程从微电子的起源，以及MEMS的产生过程，通过分析总结微电子的成功经验、从MEMS发展到NEMS的历程，寻找其发展背后的推动力，启发我们针对MEMS的特点做好MEMS研究与产业化工作。
课程大纲：（1）MEMS发展历史；（2）从MEMS发展到NEMS的历程及其推动力；（3）如何结合MEMS的特点做好MEMS的研究与产业化工作。
讲师：浙江大学教授车录锋
加速度计、陀螺仪、MEMS麦克风、压力传感器作为汽车、消费电子等领域的成熟产品，在2018年之前曾一度瓜分MEMS和传感器市场份额的50%以上。虽然增长逐渐放缓，但是市场规模仍处于稳定扩大态势。
课程大纲：（1）加速度计的设计、制造、封装和测试，以及典型应用；（2）陀螺仪的设计、制造、封装和测试，以及典型应用；（3）MEMS麦克风的设计、制造、封装和测试，以及典型应用；（4）压力传感器的设计、制造、封装和测试，以及典型应用。
讲师：华中科技大学教授刘欢
气体传感器、红外传感器创造了超越人类感官的能力，开创了“见所未见，闻所未闻”的境界，是实现MEMS和传感器从探测走向全局感知意识的重要路径。
本课程从量子点室温/近室温气敏材料入手，全面讲解气体传感器、红外传感器的关键技术和典型应用。
课程大纲：（1）量子点室温/近室温气敏材料介绍；（2）气体传感器的设计、制造、封装和测试，以及典型应用；（3）红外传感器的设计、制造、封装和测试，以及典型应用。
课程四：MEMS封装和测试技术
讲师：中国科学院上海微系统与信息技术研究所副研究员顾杰斌讲师：中国科学院上海微系统与信息技术研究所副研究员陈方
MEMS器件的三维机械结构、产品设计和制造技术的多样性，决定了MEMS封装与传统IC封装存在诸多不同且更加复杂。从消费类应用的低成本封装方式到汽车、航空行业的耐高温和抗恶劣气候的高可靠性封装；从裸露在大气环境下的封装方式到密闭式的封装方式，各种封装类型对MEMS封装行业提出了诸多挑战。
本课程将针对MEMS封装的主流技术，并结合典型案例进行深入讲解。
课程大纲：（1）MEMS封装和测试技术概论；（2）MEMS器件级封装技术；（3）MEMS晶圆级封装技术；（4）晶圆级和芯片级封装案例分析。
课程五：MEMS制造工艺
讲师：苏州诺联芯电子科技有限公司MEMS技术总监俞骁
MEMS制造工艺基于微电子技术（半导体制造工艺）基础上发展起来，是采用光刻、干法刻蚀、湿法刻蚀、薄膜沉积、氧化、扩散、注入、溅射、蒸镀、键合等基本工艺步骤来制造复杂三维结构的微加工技术。其中，硅基MEMS制造技术主要分为三大类：体微加工（BulkMicromachining）技术、表面微加工（SurfaceMicromachining）技术和CMOSMEMS技术。MEMS器件的立体结构（如通道、孔、悬臂、膜、腔以及其它结构），相比普通IC器件更注重结构特性和材料的选择，因此对制造工艺要求多样并衍生出许多MEMS特有的制造工艺。
本课程将针对MEMS制造的基础工艺、特殊工艺，并结合主要案例进行生动细致的讲解。
课程大纲：（1）单步基础制造工艺详解：光刻、薄膜沉积、刻蚀、掺杂、氧化、扩散、注入等；（2）单步特殊制造工艺详解：深硅刻蚀、双面光刻、键合、释放工艺、磁控溅射等；（3）典型制造工艺流程详解：体微加工技术、表面微加工技术和CMOSMEMS技术；（4）案例分析：MEMS器件制造工艺流程及工艺控制要点、难点介绍。
课程六：MEMS产线参观
讲师：苏州捷研芯纳米科技有限公司副总经理王建国
讲师：苏州MEMS中试平台研发部副经理赵成龙
本课程旨在通过实地参观，让学员深入理解前期课堂上学到的MEMS制造工艺、MEMS封测课程中的理论知识。我们将带领学员参观学习苏州MEMS中试平台——6英寸MEMS制造产线和苏州捷研芯纳米科技有限公司的MEMS封装和测试产线。
六、师资介绍
王跃林，中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员。他生于1959年，江西省南昌人，1978年3月参加工作，博士研究生毕业。1978年3月至1978年10月南昌市新建县松湖公社港北大队知青。1978年10月至1982年7月浙江大学无线电系半导体专业就读本科。1982年9月至1985年7月哈尔滨工业大学控制系半导体专业硕士研究生。1985年8月至1998年1月浙江大学信电系讲师、副教授、教授、博士生导师，其中1986年3月至1989年10月在清华大学微电子所读博士学位，1995年3月至1995年12月赴香港科技大学访问学者，1996年1月至1996年12月赴日本东北大学访问学者。1998年1月起历任中科院上海微系统与信息技术研究所研究员、博导、室副主任、主任、“微光机电系统”项目经理、“973”计划“集成微光机电系统研究”项目首席科学家。1999年10月起任上海微系统所所长助理。2003年6月起兼任上海微系统所学术委员会主任。2003年3月任上海市政协委员、长宁区政协副主席。2009年4月起任上海微系统所副所长。
顾杰斌，博士，本科毕业于浙江大学物理系，在英国南安普顿大学获得微电子硕士学位，在伦敦帝国理工大学获得电子电器工程博士学位。现任上海微系统所副研究员，获得湖州市南太湖精英计划领军人物，主要从事MEMS工艺、先进封装、通孔互连、磁通门等研究。在国际上首次提出并研制了基于表面张力和微压铸成型的液态合金硅通孔互连技术及专用设备，现已于多家单位合作进行产业化应用推广。发表SCI/EI论文10余篇，申请国家发明专利10余项。
陈方，博士，本科、硕士和博士就读于西北工业大学，博士期间在英国南安普顿大学ECS学院MichaelKraft教授小组联合培养，并获得美国加州大学Irvine分校AndreiShkel教授小组博士后奖学金。现任上海微系统所副研究员，主要从事MEMS惯性传感器（陀螺仪、加速度计、洛伦兹力磁强计）设计、封装及接口电路的研究，提出并研制了多款高精度双量化SDM闭环控制方案，现已于多家单位合作进行产业化应用推广。连续在MEMS、Transducer和Sensors国际会议上展出其研究成果，已在IEEEJMEMS、IEEESensorsJ.、JMM上发表多篇MEMS陀螺仪、MEMS加速度计的论文，并受邀在IEEESensorsJ.上发表技术综述Review论文，申请国家发明专利多项。
王建国，南京大学硕士，苏州捷研芯纳米科技有限公司创始人，现任副总经理。他曾任职于飞索半导体、星科金朋、晶方科技等半导体封测公司技术、研发和市场等部门；近20年半导体集成电路和MEMS行业经验，在IC和MEMS传感器封测领域有深厚的技术和管理积累。在苏州捷研芯，带领团队设立了国内首条MEMS气体传感器封装生产线，对国内最新的MEMS器件封装的技术和工艺均具有丰富的经验；特别在Flipchip、WLCSP、Fan-out技术领域有世界领先的研究经验。
利用光谱仪进行光谱分析是人类借助光认知世界的重要方式之一，应用领域包括食品和药品安全、生化分析、机器视觉、环境监测、疾病诊断、军事侦查，以及在智能手机中正在或即将兴起的摄像优化、皮肤护理、健康检查等。
超构表面在光学领域创造了新兴的发展机遇，在学术界和产业界都产生了重要的变革影响。本次培训课程促进科学家和工程师交流超构表面的未来发展之路，共同推动超构表面的研究和开发，从而实现卓越的科研成果和广泛的产业应用。
以MEMS为代表的微纳制造技术可以构筑真正意义上的三维微结构，进而实现集成传感、执行、供能等功能的微系统，代表以科技创新为引领的新质生产力。本次培训聚焦MEMS制造，深入分析MEMS制造技术、核心工艺与技术发展趋势。
糖尿病是由遗传和环境因素共同作用而引起的一组以糖代谢紊乱为主要表现的临床综合征。本次培训聚焦生物传感技术在血糖监测领域的应用，并重点讲解了基于电化学法及光学法的“微创”和“无创”连续血糖监测技术。
声学MEMS与传感器是指采用以MEMS为代表的微纳制造技术实现片上声波操控及声学应用的传感器、执行器及微系统。本次培训为学员悉心讲授声学MEMS与传感器核心技术，共同探索音频发展新趋势以及人工智能为声学应用带来的新机遇。
此次培训活动聚焦于新兴MEMS传感器和执行器技术的最新进展与应用，吸引了全国各地的顶尖MEMS领域专家、学者，云集了来自北上广深渝等地的众多MEMS企业，共同探讨行业前沿，促进技术交流与合作。
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麦姆斯咨询是MEMS和传感器领域的专业咨询服务机构，成立于2013年12月，致力于推动微系统产业发展，打造全方位咨询服务平台。麦姆斯咨询通过建设核心数据库，建立国际化合作，把握产业发展趋势，提供科技报告、培训课程、行业会议、市场服务、知识产权服务、金融服务、EDA软件等，业务遍及全球各地。麦姆斯咨询是中国半导体行业协会MEMS分会副秘书长单位，曾荣获“统计工作先进单位”称号，以及无锡高新区（新吴区）新一代信息技术及人才培育专项——“飞凤人才计划”人才培养基地建设项目。