从字源上讲，“督、查、察”三字，均有“观察、考察、搞清楚”的意思，组合而成的“督查”和“督察”基本属于同义词。中国古代监察体制中的机构或官职名称，多使用“察”字，如汉唐以后的监察御史、明清时期的都察院等。
在现代政治词汇中，“督察”最初是一种职务，专指公安系统内负责监察警察的人员；从现在的使用情况看，也多在党政职能部门使用，偏向于执法的意思。
而“督查”一词，是“督促检查”的简称。从机构设置情况看，中央、省、市、县四级设在党委、政府办公厅（室）的督查机构，绝大多数称督查室（或督查处、督查科），只有少数基层督查机构因与其他机构合并而名称不同；其他党的工作机关、政府部门，设在办公厅（室）的督查机构，也多称督查室（或督查处）。据统计，在2020年中央和国家机关督查检查考核计划中，冠以“督查”的超过半数；冠以“督察”的有8项，都是党政职能部门或办事机构开展的。
“督查”和“督察”两词含义较为接近，主要区别是行为实施主体不同：督查的实施主体主要是各级党政综合部门（即办公厅系统），督察的实施主体是部分党政职能部门或办事机构。
从这个角度来看，督查工作更多具有综合性、事务性特征；督察工作更多具有职能性、业务性特征。近年来，随着党政综合部门督查机构职能不断增强、工作范围不断拓展，督查工作也具有了更多的职能性特征。
督导|监督|检查
“督导”“监督”和“检查”，也是日常工作中比较常用的几个概念，在2020年中央和国家机关督查检查考核计划中都有体现，其中冠以“检查”的事项较多。
“督导”即“督促指导”的简称，与一般的督查工作相比，更多强调指导的意思。督导工作主要由承担宏观指导职责的党政职能部门组织开展，如教育部每年牵头组织开展教育综合督导，对各地区义务教育、学前教育等工作情况进行督促和指导。
另外，针对一些问题比较集中、情况比较复杂的重点工作还会开展专项督导。比如，由中央政法委牵头组织的中央扫黑除恶专项斗争督导组，坚持督导结合、以督促改，类似于“督查组+指导组”的结合体。
“监督”和“检查”，都是含义宽泛、应用广泛的词语。在党政机关机构设置中，两者还经常合用，如中央编办监督检查局、国家民委监督检查司等。
在职能履行方面，“监督”的对象较为宏观，主要针对的是权力运行。党的十九届四中全会审议通过的《中共中央关于坚持和完善中国特色社会主义制度、推进国家治理体系和治理能力现代化若干重大问题的决定》将“坚持和完善党和国家监督体系”专列一章，明确纪律监督、监察监督、派驻监督、巡视监督、人大监督、民主监督、行政监督、司法监督、群众监督、舆论监督、审计监督、统计监督等概念，并提出以党内监督为主导，推动各类监督有机贯通、相互协调。
“检查”则主要针对各个行业领域的具体业务，历年来中央和国家机关督查检查考核计划中的检查事项，大都是生态环保、产业发展、灾害防治等具体行业领域的业务检查。
巡视|巡察|巡查
巡视制度是中国古代监察体系的重要组成部分。特别是明清时期，朝廷经常委派监察御史巡视各省、考核吏治。监察御史就是民间俗称的“八府巡按”。
现在所称“巡视”，特指党内巡视制度。我们党很早就开展了中央组织对地方组织的巡视。1922年党的二大通过的《中国共产党章程》明确规定，“中央执行委员会得随时派员到各处召集各种形式的临时会议”，开创了党内特派、巡视的工作方式；1928年中央专门制定巡视条例，第一次以党内法规的形式把巡视工作制度化。
党的十八大以来，以习近平同志为核心的党中央以彻底的自我革命精神推进全面从严治党，其中一个重要成果就是修订颁布《中国共产党巡视工作条例》并在全党范围开展定期巡视。修订后的《中国共产党章程》明确规定：“党的中央和省、自治区、直辖市委员会实行巡视制度”，“党的市（地、州、盟）和县（市、区、旗）委员会建立巡察制度”。因此，“巡视”和“巡察”指向性非常明确，就是特指《中国共产党章程》和《中国共产党巡视工作条例》所规定的，由特定主体对特定对象实施的巡视和巡察工作。
“巡查”则比较特殊。在《中国共产党巡视工作条例》修订以前，市县级层面党委组织开展的内部监督称巡查，设立的机构称巡查办、巡查组。现在少数部门仍把之前的提法沿用下来。比如，人民法院司法巡查是2009年《中国共产党巡视工作条例（试行）》出台后，借鉴党内巡视制度在法院系统建立起来的内部监督制度，现在仍称巡查。
另外，还有一种普遍意义上的巡查，如安全生产和消防工作考核巡查、脱贫攻坚督查巡查等，与巡视巡察没有直接关系，主要是体现督查的覆盖面较为广泛的意思。